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英Mantis纳米团簇沉积

点击次数：151  发布时间：2020/12/21 10:46:38

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英Mantis纳米团簇沉积
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公司名称：上海非利加实业有限公司 型 号：NanoSys500,NanoGen50 生产地址：中国大陆 已获点击：151 简单介绍： 英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳米团簇沉积
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科
详细内容

NanoSys500,NanoGen50英Mantis纳米团簇沉积
英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
产品特点
产品参数
产品介绍
纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。
英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
产品特点
产品参数
产品介绍
纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
产品特点
产品参数
产品介绍
纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
产品特点
产品参数
产品介绍
纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
产品特点
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
产品特点
产品参数
产品介绍
纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。vv英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
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NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
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纳*米团簇源和沉积系统： 
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NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
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MesoQ质谱过滤器 
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NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
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NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
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NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。
英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
产品特点
产品参数
产品介绍
纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
纳*米团簇源和沉积系统： 
Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
Mantis公司提供与超高空兼容的沉积系统提出全套完整的纳*米粒子沉积的解决方法。客户可选用标准的系统，也可根据特殊的需要定制系统。英Mantis NanoSys500,NanoGen50纳*米团簇沉积
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纳*米团簇沉积(Nanocluster Deposition)简介： 
英Mantis公司是个生产高质量沉积设备与部件的高科技公司，主要产品有：纳*米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发和热气裂解器。超高空的沉积系统采用通用设计，便于以后的升。纳*米团簇沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳*米尺寸薄膜。克努森池、电子束蒸发台、热气裂解器与小离子和原子源可用于分子束外延、表面科学与物理*气相沉积的小尺度研究。175mm射频原子源或130mm射频离子源可以处理8”以上的衬底。
 
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Mantis公司提供纳*米粒子的沉积和表征设备，可产生几乎任*何元素或合金材料的粒径可选的精*确纳*米粒子束。另外，产生的反应粒子可以沉积氧化物和氮化物的纳*米团簇。公司还可为客户将现有的纳*米粒子薄膜生长的空腔或整个系统升。 
NanoGen50纳*米团簇源 
NanoGen50纳*米团簇源使用独特的高压溅射源，可在结露区(condensation zone)沉积纳*米颗粒。结露区内气流的特点确保束流尺寸分布的精*确控制，使出射线束内的粒度保持高精*确度。结露区独特的结构使纳*米粒子与进入主沉积腔室载气的比例大化。公司还可提供控制不同精度的源以适合于特殊的应用。可以产生小*30个原子大*半径15nm的纳*米颗粒。 
Nanogen源产生高比例的离化纳*米粒子（可达40%）。在通常的运行条件下，产生的中性和离子化的粒子具有很低的动能，确保了粒子在随后的沉积中软着陆而保持原有的晶体结构。高度离子化使客户可以静电化处理大部分的粒子束，也可以加速离子化粒子到偏置表面，这样的加速粒子束可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度粘附的薄膜。 
MesoQ质谱过滤器 
在NanoGen-50上可以装配MesoQ四质谱滤波器，在线分析和进步过滤106原子质量单位的纳*米粒子束。过滤模式中四质谱具有优于2%的限粒径分辨率，可达到精*确的粒径准确度。与Nanogen源合用时，当高比例粒子束被自然离化的时候，MesoQ在过滤模式中具有很高的滤过量。 
NanoSys 500纳*米团簇沉积设备 
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更新时间：2024/4/19 11:52:20


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