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INFICON石英晶体膜厚控制仪
点击次数：329 发布时间：2020/12/22 10:33:30
公司名称：上海非利加实业有限公司
型 号：XTC/3
生产地址：中国大陆
已获点击：329
简单介绍：
详细内容
XTC/3INFICON石英晶体膜厚控制仪
INFICON XTC/3 石英晶体膜厚控制仪
产品特点
产品参数
产品介绍
INFICON, 薄膜镀层控制技术的全球先者，现在为您提供高生产价值和低拥有成本的仪器。
无论您需要控制产品的合格性，或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
产品详细介绍：
XTC/3石英晶控仪，实用的单层和多层镀膜速率控制，无论您需要控制产品的合格性，或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1利技术，提供可靠的模式跳跃防止功能，可达到始终如的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪，可高度精*确地控制镀膜速率与膜层厚度，具有能控制几乎任*何膜层数量的能力。容易安装和高的可靠性，可确保高的生产率。
有单膜层和多膜层型号:
1.ModelLock利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
2.支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换，用于高生产率
3.XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程，999个膜层，32个镀层，2个
传感器和两个源
4.XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层，2个传感器和两个源
5.易阅读的TFT LCD图形显示器
6.为便于检索，可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
7.有以太网连接软件
8.单独运行（无需计算机）或用PC运行的Windows®软件选件
9.INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见（限于XTC/2功能和指令组）
产品参数
功能，参数，或技术规范
XTC/3S单层膜
XTC/3M多层膜
测量分辨的频率变化
＋0.05Hz
＋0.05Hz
测量区间
0.25
0.25
厚度和速率分辨/测量
0.06A,在工具/密度＝100
0.06A,在工具/密度＝100
基频＝6MHz
基频＝6MHz
支持XTAL2转换
是
是
计算机通讯
RS232标准,以太网TCP/IP选件
RS232标准,以太网TCP/IP选件
大RS232波特率
115.2千波特
115.2千波特
继电器数
12标准, 无事例可指定
12标准, 事例可指定
可编程继电器功能数
1
1
每个继电器功能
1
1
继电器电压额定值
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
42V峰,在2.5安
42V峰,在2.5安
输入数
8TTL, 24伏直流大
8TTL, 24伏直流大
可编程输入功能数
1, 无事例可指定
1, 事例指定
记入仪输入数
1
1
手动电源/手持控制器
是
是
排风扇
无
无
测试模式
是
是
挡光器延迟
是
是
次工具
是
是
大允许相移频率
1.0 MHz
1.0 MHz
机箱尺寸
1/2机架,2U高度
1/2机架,2U高度
速率和膜厚显示分辨
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
100至999A/
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
100至999A/
显示膜厚分辨=1A
显示膜厚分辨=1A
通过输入选择镀层
是
否
用户指导语言
英文，中文
英文，中文
控制环
PID
PID
数据登录
是
是
质量和稳定性功能
是
是
样品和保持
是
是
坩埚选择
是
是
坩埚反馈输入
是
是
选择控制电压性
是，+/-2.5，5，10伏
是，+/-2.5，5，10伏
15-位分辨率
15-位分辨率
程序锁定码
是
是
用户标签过程/镀层
否
是
XTC/2 RS232通讯兼容性
是（有限的）
是（有限的）
INFICON XTC/3 石英晶体膜厚控制仪
产品特点
产品参数
产品介绍
INFICON, 薄膜镀层控制技术的全球先者，现在为您提供高生产价值和低拥有成本的仪器。
无论您需要控制产品的合格性，或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
产品详细介绍：
XTC/3石英晶控仪，实用的单层和多层镀膜速率控制，无论您需要控制产品的合格性，或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1利技术，提供可靠的模式跳跃防止功能，可达到始终如的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪，可高度精*确地控制镀膜速率与膜层厚度，具有能控制几乎任*何膜层数量的能力。容易安装和高的可靠性，可确保高的生产率。
有单膜层和多膜层型号:
1.ModelLock利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
2.支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换，用于高生产率
3.XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程，999个膜层，32个镀层，2个
传感器和两个源
4.XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层，2个传感器和两个源
5.易阅读的TFT LCD图形显示器
6.为便于检索，可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
7.有以太网连接软件
8.单独运行（无需计算机）或用PC运行的Windows®软件选件
9.INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见（限于XTC/2功能和指令组）
产品参数
功能，参数，或技术规范
XTC/3S单层膜
XTC/3M多层膜
测量分辨的频率变化
＋0.05Hz
＋0.05Hz
测量区间
0.25
0.25
厚度和速率分辨/测量
0.06A,在工具/密度＝100
0.06A,在工具/密度＝100
基频＝6MHz
基频＝6MHz
支持XTAL2转换
是
是
计算机通讯
RS232标准,以太网TCP/IP选件
RS232标准,以太网TCP/IP选件
大RS232波特率
115.2千波特
115.2千波特
继电器数
12标准, 无事例可指定
12标准, 事例可指定
可编程继电器功能数
1
1
每个继电器功能
1
1
继电器电压额定值
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
42V峰,在2.5安
42V峰,在2.5安
输入数
8TTL, 24伏直流大
8TTL, 24伏直流大
可编程输入功能数
1, 无事例可指定
1, 事例指定
记入仪输入数
1
1
手动电源/手持控制器
是
是
排风扇
无
无
测试模式
是
是
挡光器延迟
是
是
次工具
是
是
大允许相移频率
1.0 MHz
1.0 MHz
机箱尺寸
1/2机架,2U高度
1/2机架,2U高度
速率和膜厚显示分辨
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
100至999A/
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
100至999A/
显示膜厚分辨=1A
显示膜厚分辨=1A
通过输入选择镀层
是
否
用户指导语言
英文，中文
英文，中文
控制环
PID
PID
数据登录
是
是
质量和稳定性功能
是
是
样品和保持
是
是
坩埚选择
是
是
坩埚反馈输入
是
是
选择控制电压性
是，+/-2.5，5，10伏
是，+/-2.5，5，10伏
15-位分辨率
15-位分辨率
程序锁定码
是
是
用户标签过程/镀层
否
是
XTC/2 RS232通讯兼容性
是
更新时间：2024/4/19 11:52:20
标签：XTC/3INFICON石英晶体膜厚控制仪
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邮箱：2565589524@qq.com 邮编：
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