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INFICON石英晶体膜厚监测仪
点击次数:153 发布时间:2020/12/22 10:34:08
公司名称:上海非利加实业有限公司
型 号:SQM160
生产地址:中国大陆
已获点击:153
简单介绍:
详细内容
SQM160INFICON石英晶体膜厚监测仪
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
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SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
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便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选v
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产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
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SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
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SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选v
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
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SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选v
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
INFICON SQM160 石英晶体膜厚监测仪
产品介绍
SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精*确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以大程度方便不同用户。
产品参数
产品规格:
QCM传感器输入 标准型: 2路 可选4路
频率范围:1-10 MHz
标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
频率稳定性:在 0º to 50ºC,总计± 2 ppm
可选择的测量周期:0.10 to 2 sec (每增量0.05 sec)
测量选择:1 to 20 readings
存储膜系:99
模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚
数字输入/输出:2 路数字输入, 4路继电输出
标准型: RS-232
可选: USB or 以太网
电源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 标识:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安装支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x197mm(3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量:2.7 Kg(6 lbs)
Windows软件(included):提供远程安装和操作指导,数据录入功能
产品介绍
SQM160产品详细介绍
便于使用
开启速率和膜厚测量,只需先按住Zero键以清*除上次读数,然后关闭,打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率,即使操作人员离监测仪定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了,档板就会自动关闭,同时面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中,操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。先,选“program”键,进入菜单,然后,旋转拨针钮,这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示,而设定的数据可以在辅助界面中找到。
高精度,低成本,标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/的高精型。SQM160另大优点是在整个工作范围内,温度稳定性可以达到2ppm。高精*度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓*越的性价比。
产品特点:
1.双通道(标准型),四通道可选
2.沉积速率/膜层厚度模拟输出
3.高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
4.RS-232 接口, USB 或以太网可选
更新时间:2024/4/19 11:52:20
标签:SQM160INFICON石英晶体膜厚监测仪
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