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高压热电离皮拉尼真空规

点击次数:157  发布时间:2021/1/6 11:26:37

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公司名称:上海非利加实业有限公司 型 号:INFICON 生产地址:中国大陆 已获点击:157 简单介绍: INFICON HPG400 高压热电离皮拉尼真空规
INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在个小型、
轻便与经济的规管中,测量压强从2×10-6至1000毫巴(×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重复性
和再现性压强测量,用于较精确的溅射过程的压强控制
详细内容

INFICON HPG400 高压热电离皮拉尼真空规
 INFICON HPG400 高压热电离皮拉尼真空规
产品介绍
HPG400皮拉尼真空计详细资料
优点:
宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)
好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
 
应用:
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
般真空测量和控制,从低至超高真空范围
 
 
产品参数
订 购 资 料
型号
 
HPG400
 
Without LCD display
 
HPG400
 
With LCD display
 
HPG400-SP
 
With Profibus DP1)
 
HPG400-SD
 
With DeviceNet1)
 
DN 25ISO-KF
 
353-520
 
353-521
 
353-525
 
353-527
 
DN 40CF-R
 
353-522
 
353-523
 
353-526
 
353-528
 
更换传感器25ISO-KF
 
354-487
 
354-487
 
354-487
 
354-487
 
更换传感器40CF-R
 
354-488
 
354-488
 
354-488
 
354-488
 
产品介绍
INFICON高压热电离皮拉尼真空计
产品型号:HPG400
INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在个小型、
轻便与经济的规管中,测量压强从2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重复性
和再现性压强测量,用于较精确的溅射过程的压强控制
 INFICON HPG400 高压热电离皮拉尼真空规
产品介绍
HPG400皮拉尼真空计详细资料
优点:
宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)
好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
 
应用:
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
般真空测量和控制,从低至超高真空范围
 
 
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型号
 
HPG400
 
Without LCD display
 
HPG400
 
With LCD display
 
HPG400-SP
 
With Profibus DP1)
 
HPG400-SD
 
With DeviceNet1)
 
DN 25ISO-KF
 
353-520
 
353-521
 
353-525
 
353-527
 
DN 40CF-R
 
353-522
 
353-523
 
353-526
 
353-528
 
更换传感器25ISO-KF
 
354-487
 
354-487
 
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354-487
 
更换传感器40CF-R
 
354-488
 
354-488
 
354-488
 
354-488
 
产品介绍
INFICON高压热电离皮拉尼真空计
产品型号:HPG400
INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在个小型、
轻便与经济的规管中,测量压强从2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重复性
和再现性压强测量,用于较精确的溅射过程的压强控制
 INFICON HPG400 高压热电离皮拉尼真空规
产品介绍
HPG400皮拉尼真空计详细资料
优点:
宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)
好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
 
应用:
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
般真空测量和控制,从低至超高真空范围
 
 
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HPG400
 
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HPG400
 
With LCD display
 
HPG400-SP
 
With Profibus DP1)
 
HPG400-SD
 
With DeviceNet1)
 
DN 25ISO-KF
 
353-520
 
353-521
 
353-525
 
353-527
 
DN 40CF-R
 
353-522
 
353-523
 
353-526
 
353-528
 
更换传感器25ISO-KF
 
354-487
 
354-487
 
354-487
 
354-487
 
更换传感器40CF-R
 
354-488
 
354-488
 
354-488
 
354-488
 
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INFICON高压热电离皮拉尼真空计
产品型号:HPG400
INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在个小型、
轻便与经济的规管中,测量压强从2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重复性
和再现性压强测量,用于较精确的溅射过程的压强控制

更新时间:2024/4/24 17:09:12


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